Isolast® PureFab™ FFKM
Maximice ya el tiempo de funcionamiento de los procesos avanzados de semiconductores
Trelleborg Sealing Solutions lanza cuatro materiales de su gama Isolast® PureFab™ diseñados específicamente para aplicaciones críticas de estanquidad en semiconductores. Para los fabricantes de equipos originales y las fábricas, la utilización de estas exclusivas formulaciones de perfluoroelastómeros (FFKM) aumentará el rendimiento del producto y reducirá los defectos del proceso. A su vez, se reducen los tiempos de inactividad, se amplían los ciclos de mantenimiento de los productos, se aumenta el tiempo de actividad de las herramientas de proceso y se reduce el coste total de propiedad.
Con excelentes propiedades mecánicas, todos los materiales semiconductores «Fab Four» demuestran la mayor pureza de su clase, sin comprometer la resistencia al plasma, la desgasificación y la estabilidad térmica. Individualmente, los materiales son los mejores de su clase en cuanto a características específicas :
- Isolast® PureFab™ JPF10 para resistencia remota al plasma con formulación totalmente orgánica
- Isolast® PureFab™ JPF20 para una resistencia general al plasma y una particulación mínima en entornos difíciles
- Isolast® PureFab™ JPF21 estabilidad térmica a largo plazo y baja contaminación por oligoelementos metálicos
- Isolast® PureFab™ JPF30 por su alta temperatura líder del mercado y su extrema pureza en un material translúcido
Características & Ventajas de Isolast® PureFab™.
- Estabilidad a altas temperaturas
- Máxima pureza
- Contenido excepcionalmente bajo en metales traza
- Excelente resistencia al plasma
- El mejor rendimiento en procesos frontales agresivos como deposición, grabado, ceniza/descorte, limpieza por plasma y procesamiento térmico como la deposición de capas atómicas
- Reducción de la generación de partículas y rendimiento de ultrabaja desgasificación en condiciones de alto vacío
- Permite a los usuarios finales ampliar los ciclos de mantenimiento de sus productos, garantizando al mismo tiempo el máximo rendimiento del proceso.
- Todas las juntas Isolast® PureFab™ se fabrican y embalan en un entorno de sala blanca de clase 100 (ISO5) para garantizar la pureza del producto
Isolast® PureFab™ JPF22
- El sistema de relleno sintético de refuerzo maximiza el rendimiento mecánico
- Lixiviabilidad extremadamente baja según SEMI F40/F57
- Excelente resistencia a los productos químicos agresivos a base de aminas
- Bajo contenido en trazas metálicas que permite un alto rendimiento del proceso
- Excelente compatibilidad química con gases de proceso secos comunes en procesos menos críticos
- Mínima formación de partículas y pérdida de peso tras la exposición a una amplia gama de gases de proceso de plasma
Isolast® PureFab™ JPF30
- Material translúcido de extrema pureza sin relleno
- Contenido extremadamente bajo en metales traza
- Rendimiento de estabilidad térmica inigualable en comparación con los materiales translúcidos de la competencia, incluso a +300°C
- Adecuado para procesos de cenizas y bandas, así como para aplicaciones que requieren poca fuerza de sellado
Isolast® PureFab™ JPF40
- Su exclusiva química de reticulación proporciona una baja compresión durante largos periodos de tiempo, garantizando la integridad del sellado.
- Estabilidad térmica inigualable hasta +327°C/+620°F
- Propiedades de baja desgasificación
- Muy baja contaminación por trazas de metal en comparación con otros FFKM negros de alta temperatura
- Excelente compatibilidad química con los gases de proceso secos habituales
- Mínima formación de partículas y pérdida de peso tras la exposición a una amplia gama de gases de proceso de plasma
*El fluoroelastómero suele denominarse FKM FPM o VITON™ por la conocida marca que lo produce. Es posible que vea este caucho listado en diferentes lugares con estos nombres diferentes, pero todos son uno y el mismo.
En los años sesenta, la necesidad de un polímero más resistente a los productos químicos y capaz de soportar temperaturas más elevadas era cada vez mayor. El resultado natural fueron los perfluoroelastómeros, que combinaban la resistencia química del PTFE con la flexibilidad y elasticidad de los FKM normales. Al principio, esta nueva fase de la tecnología de elastómeros estaba reservada casi exclusivamente a los programas espaciales y los procesos químicos. Sin embargo, el FFKM pronto fue adoptado por la comunidad industrial en general, una vez que se conocieron sus propiedades.
Hoy en día, el FFKM es un componente habitual de muchísimas industrias. Aunque la estructura del polímero ha permanecido prácticamente inalterada desde la introducción de los perfluoroelastómeros, el proceso de polimerización ha experimentado un proceso de perfeccionamiento a lo largo de las décadas y los materiales FFKM pueden desarrollarse como parte de un proceso de producción más seguro y ecológico.
